Мысли
Человечество взяло кремний и создало из него компьютер с собственным языком. Затем человечество придумало новый язык, чтобы было проще с ним общаться. Теперь же человечество заставило его научиться понимать язык человечества. Человечество буквально научило общаться кусок кремния.
Ты слышишь как поёт кремний? А я слышу.
Как сделать МЭМС: от идеи до реализации
В предыдущем посте я попросил оставить в комментариях темы, которые были бы интересны. Сразу предупрежу, что некоторые вопросы не будут мной разобраны в том виде, в котором они сформулированы, чтобы не опозориться не вводить никого в заблуждение. Но постараюсь рассказать о чем-то наиболее приближенном по моему мнению.
@sweeper.xms оставил две темы, начну со второй:
Каков путь от программы на Verilog/VHDL до реального чипа, минуя ПЛМ?
Область моих компетенции связана непосредственно с микроэлектромеханическими системами (МЭМС), а точнее я занимаюсь разработкой технологии их изготовления. Поэтому расскажу, какой нужно проделать путь от идеи до реализации ее в виде конечного продукта. Надеюсь, будет интересно не нудно.
МЭМС - это такой чип, состоящий из механической части (именуется чувствительным элементом), которая может вибрировать, перемещаться или изгибаться, и электрической части (обычно интегральная схема специального назначения, она же ASIC), которая позволяет считывать и преобразовывать сигналы, и управлять механической частью. Короче, это всякие микромеханические акселерометры (датчики ускорения), гироскопы (датчики угловой скорости), датчики давления и т.п. Зачем они нужны? Конечно же для функции автоповорота экрана в смартфоне, иначе как ещё смотреть видео на Ютубе Рутубе. На самом деле применяют датчики МЭМС много где.
Знакомьтесь, датчик МЭМС: внутри корпуса расположены та что побольше и поярче - интегральная схема, а невзрачный - это чувствительный элемент (взято из интернета)
Приступим к идее. Во-первых, нужно определиться для каких целей делать датчик. Универсальных решений не существует, к сожалению. Не получится сделать и суперкомпактный, и мегаточный, и со сверхнизким потреблением энергии, да ещё и практически бесплатный. Поэтому у топовых компаний типа Analog Devices только микромеханических акселерометров более 15 разновидностей! Отмечу, что электроника может быть универсальной, и одна и та же интегральная схема может хорошо подходить для большинства датчиков. Подробно я разберу именно механическую часть (чувствительный элемент). У каждого чувствительного элемента есть особый слой (именуют его обычно приборным) или слои, которые являются определяющими с точки зрения характеристик датчика.
С помощью ПО Comsol Multiphysics или Ansys подбирают конструкцию этого особого слоя или слоев, чтобы они потенциально обеспечивали нужные характеристики. Затем уже в виде некой принципиальной схемы разрабатывают целиком топологию чувствительного элемента, который вообще может состоять не просто из нескольких слоев, но и из нескольких пластин.
Как только с топологией определились, появляется намек уже на какую-то документацию. Важно понимать, что топологию и конструкцию разрабатывают с учётом имеющихся технологических возможностей, а также наличия конкретного материала. Условно, если в наличии имеются пластины толщиной 380 мкм или особый слой могут сделать сейчас только толщиной 100 мкм, то в первую очередь будут исходить из этого. После согласования топологии и конструкции чувствительного элемента обычно утверждают геометрические размеры и электрические параметры, которые будут контролировать в процессе изготовления для определения качества изделия и его работоспособности. Далее формируют документацию для изготовления фотошаблонов для литографии в формате GDSII. Во-первых, необходимо полностью отрисовать все слои и посмотреть, как в пределах одного чипа они накладываются друг на друга. Во-вторых, необходимо размножить разместить чипы на подложке как можно больше и плотнее друг к другу. Но меру тоже нужно знать, поэтому от края пластины обычно отступают 5-10 мм. В-третьих, нужны метки совмещения для литографии.
Так может выглядеть метка совмещения. Красным выделены нониусы, обеспечивающие точное совмещение (взято из интернета)
Главными элементами меток совмещения являются нониусы, их размер и расстояние между ними позволяют оценивать рассовмещение слоев между друг другом. При заказе фотошаблонов также указывают, какие области должны быть прозрачными, а какие нет. Некоторые фотошаблоны должны быть ещё и отзеркалены. Короче, одна ошибка и ты ошибся. Технологический процесс изготовления в виде маршрута набрасывают ещё при формировании документации на фотошаблоны. Делают сопроводительную документацию на изготовление. Также параллельно заказывают необходимые материалы (всякие фоторезисты, проявители, смыватели, кислоты, щелочи и т.п.). И ждут уведомления от озона поставку фотошаблонов и материалов.
Как только все необходимое есть, начинают отрабатывать какие-то отдельные элементы или операции, чтобы потенциально меньше возникло проблем где-то в середине процесса изготовления. И наконец-то пробуют сделать первую партию пластин. Помните, я упоминал, что для изготовления одного МЭМСа (или одной партии) может потребоваться несколько пластин?
Это чувствительный элемент микромеханического акселерометра, и он не слышал ни о каких планарных технологиях (взято из интернета)
Микроэлектроника построена фактически на планарной технологии. Это когда вы на лицевой стороне пластины последовательно формируете различные слои, что и приводит к изготовлению конечного продукта. В МЭМС так не получится, так как есть всякие подвижные элементы. А чтобы они двигались нужны различные ямы полости над ними, под ними, между ними. Кроме этого все эти подвижные элементы следует располагать в герметичном объеме (чтобы в зазоры размером 2-3 микрометра не попадали твердые частицы в принципе), а в некоторых случаях ещё и нужно поддерживать вакуум!
Так что чтобы сделать одну пластину, нужно запустить минимум 2-3 и помолиться надеяться на чудо. Почему? Потому что может случиться вот это:
Поэтому обычно запускают 10-20 пластин, чтобы на выходе гарантировано получить 1-2 с готовыми изделиями.
Особо неприятно, когда "пластина-шахид" унесла не только свою "жизнь", и необходимо начинать заново (взято из интернета)
После того, как получили хотя бы одну пластину с чувствительными элементами, проводят контроль на зондовой станции, которая тыкается своими иголками зондами в металлические контакты и измеряет электрические параметры (ёмкости, сопротивления). По неким установленным критериям бракуют чипы и появляется карта годных чипов по пластине. Пластину кромсают пилят между чипами, чтобы их отделить друг от друга. После этого годные чипы устанавливают в корпус вместе с электроникой. Микросваркой соединяют чип с электроникой и выводят контакты на корпус. Затем корпус закрывают крышкой и герметизируют. Вот и получили первый датчик МЭМС. Но бывают нюансы, например, датчик давления ставят на штуцер. Дальше начинаются испытания для определения характеристик датчика и степень соответствия с тем, что закладывали в самом начале. Вероятность получить с первого раза даже что-то работающее невысока, а уж чтобы это соответствовало ожиданиям, ещё ниже. Поэтому идёт поиск виноватых проблем и их решений, чтобы добиться нужных характеристик изделий. Корректируют конструкцию, топологию, технологию, фотошаблоны, то есть идет нормальный итерационный процесс.
На этом пожалуй завершу. Что-то я мог упустить, что-то опустил специально. Получилась простыня, я честно старался написать ёмко, но не смог, не получилось.
Элементная Цивилизация. Кремниевая. Зло Сердечной Любви
Элементная Цивилизация. Кремниевая
Я уже писал о Древних и о Кремниевом Мире. И что это Сказочный и Прекрасный Кремниевый Мир и у Асгарда на сайте Асгард – Возвращение домой много довольно правильно написано про Кремниевый Мир – и я Правильно написано, что мы раньше были все Кремниевые и Жизнь и Вся природа была на основе Кремния. И было восхитительно и Потрясающе – и была Сказка.
Но и сейчас есть – осталась кремниевая Жизнь – Кремниевая Цивилизация и которая может быть и под землей и некоторые ее представители могут быть и на поверхности Земли и так же и в Космосе – в виде Инопланетян. И я еще давно знаком с Пониманием Кремниевой Цивилизации.
И наверное каждый представитель Разумной Инопланетной Цивилизации и в том числе Кремниевой – должен пройти через Ад Мира Земли – причем через все три его Уровня о которых писал в одной из предыдущих статей – для пользы, Понимания, открытия и раскрытия Себя. И это тоже по-своему интересно и хорошо и увлекательно.
И по идее, если более широко рассмотреть эту тему, то так Жизнь может формироваться не только на основе Кремния, но и на основе любых элементов, химических элементов к примеру той же Таблицы Менделеева. И поэтому более широко я назову Общее Понимание Мира и Цивилизации – может быть не одной – как Элементную Цивилизацию.
Зло Сердечной Любви
Я несколько раз ощущал сильный, мощный поток волнообразных излучений – из Космоса - на Землю, на отдельных Индивидуальностей Мира Земли и я его ощущал тоже.
Я это назвал недавно(хотя и раньше чувствовал) – Зло Сердечной Любви – потому что это выглядит как какой-то поток Зла – как некая особо Злая и изощренная Космическая Цивилизация, которая действует на уровне Сердечной Любви – но Злой энергии Сердечной Любви. И масштабы и сила – Глобальные и Потрясающие.
А почему назвал Злом – потому что энергии этих волнообразных излучений – грубы, сильны и даже ломающе многие более тонкие проявления чувств и прочего. Это какой-то колоссальный поток Сердечной Любви Зла сметающей все на своем пути – и все же заключающей в себе какой-то тяжелый, злой, плохой и грубый вид красно-розовой энергии Сердечной Любви.
Любовь в виде красно-розовой энергии, проявляющейся в Сердце – есть сама по себе - и она фундаментально и никуда она не денется и ничего с ней не сделается – это как принципы – принципы построения Мира. Так есть камни, которые мы ломаем и камни тоже построены на принципах – но им ничего от этого не делается – тогда как более тонкие и ранимые структуры – те же структуры, которые представляют собой Настоящую ценность о которых я писал – самые искренние хорошие мечты, чувства, ощущения, эмоции и тому подобное – в лучшем случае мы бережем. А Любовь Сердечная – лишь придает силы и энергию.
Но не спешите с выводами. Во-первых это может быть на самом деле – проверка и в том числе на Зло, так же попытка пройти какой-то этап понимания Зла и осознать его и Понять. Во-вторых это может быть просто необходимая энергия для реализации хорошего – во всяком случае – оружие тоже как бы плохо – но как его применять – его можно применять и во благо.
В-третьих – это может быть просто такое проявление Сердечной Любви – как Сердце Отчаяния. А я писал, что есть два проявления Сердца и Сердечной Любви. Первое – это Сердце Безграничной Любви ко Всему Миру. Второе – Сердце Отчаяния.
И то и то – хорошо и по-своему интересно.
Так что – будем Жить дальше
Сердце ПК: Кремниевый двигатель. "Производство" Часть Первая
«Мозгом» современной техники являются различные микрочипы. Самые сложные из них — это центральные и графические процессоры, а также системы на чипе для смартфонов. В их составе находятся миллиарды транзисторов. Как они производятся? И как такое огромное количество электронных компонентов и соединений между ними помещается на маленьком кристалле?
Сердце процессора
Принципы устройства микрочипов не менялись с самого их появления. Что микропроцессор Intel 4004, которому уже больше полувека, что современный Core i9 состоят из транзисторов — миниатюрных переключателей электрической цепи, которыми можно управлять с помощью подачи тока.
Главное отличие в том, что старые чипы производились по достаточно «толстым» техпроцессам и содержали небольшое количество транзисторов. В Intel 4004, который выпускался по техпроцессу 10 мкм (10000 нм), их было всего 2300. А в современном Core i9-13900K, производящемся по техпроцессу Intel 7 (10 нм), транзисторов в миллионы раз больше — целых 26 миллиардов.
Рассмотрим строение чипа на его примере. Данный процессор содержит восемь больших ядер и 16 малых, крупный кэш третьего уровня, контроллер памяти с поддержкой DDR4 и DDR5, встроенную графику UHD770 и прочие функциональные блоки. При этом размер кристалла такого чипа всего 10.7х24.2 мм.
Если заглянуть в любое ядро, мы увидим, что оно состоит из различных частей — блоков выборки и декодеров, целочисленной части, блока вычислений с плавающей запятой, блоков загрузки/выгрузки, кэша первого и второго уровня. На каждую из них приходится несколько миллионов транзисторов.
Обратимся к еще более маленькой составляющей ЦП: блоку умножения в целочисленной части ядра. Он состоит из 44 тысяч транзисторов, что составляет всего 0,00017 % от их общего количества в чипе.
Увеличив масштаб, мы увидим несколько слоёв из множества металлических соединений, которые проводят сигналы от транзисторов.
Сами транзисторы находятся под слоями этих соединений.
Для наглядности соединения были представлены в виде тонких проволочек в пространстве. На самом деле они не парят в воздухе — между ними находятся слои изоляционного материала.
Это упрощенное представление, включающее слой транзисторов и пять слоев соединений. Всего в процессоре 17 слоев соединений, расположенных друг над другом. Внизу расположены локальные соединения между компонентами ядер, посередине — соединения вокруг ядер, на самом верху — глобальные соединения между разными компонентами ЦП. Чем ближе слой к верху, тем крупнее становятся соединяющие линии.
В современных процессорах используются трехмерные транзисторы FinFET. При технологии производства Intel 7 (10 нм), размер канала транзистора составляет 36 × 6 × 52 нм, а шаг между затворами транзисторов — 57 нм.
Чтобы представить себе размер такого транзистора, можно сравнить его с митохондрией, частицей домашней пыли или человеческим волосом. Транзистор — это первая белая точка слева, митохондрия — вторая.
Как же производят чипы из таких микроскопических составляющих? Чтобы узнать это, пройдем небольшую виртуальную экскурсию по производству.
Создание пластин
Заготовки для будущих процессоров делают на заводе по производству кремниевых пластин. Основой для них служит кварцит — горная порода, из которой сложными методами очистки получается чистый кремний.
После очистки кремний расплавляется, и из него «выращивается» кристалл формы цилиндра.
С помощью лазера кристалл разрезается на множество пластин, а затем шлифуется до идеально ровной поверхности. Одна пластина имеет диаметр 30 см и толщину около 0,75 мм. У каждой из них сбоку делается небольшая выемка для указания положения кристаллической решетки, а сзади наносится серийный номер. Такие пластины очень хрупкие — стоит им упасть, и они разлетятся на множество мелких кусочков.
Устройство полупроводникового производства
После производства пластин дальнейший процесс по «готовке» процессоров происходит на полупроводниковом производстве. Общая площадь помещений такого завода, отведенная непосредственно под производство чипов, составляет десятки тысяч квадратных метров.
Внутри производственной зоны поддерживается практически стерильная чистота, так как попадание пыли на будущие чипы непременно грозит их порчей. Здесь находятся сотни различных установок для работы с кремниевыми пластинами. Каждая из них имеет размер, схожий с фургоном или автобусом.
Кремниевые пластины последовательно перемещаются от установки к установке, поочередно проходя около тысячи производственных этапов. С момента поступления пластины на производства до готовности процессоров проходит около трех месяцев.
Пластины перевозятся стопками по 25 штук в специальном герметичном контейнере (FOUP), которые передвигаются по производственному помещению благодаря подвесной транспортной системе. С нее контейнеры опускаются на загрузочную площадку принимающей установки.
Через переходное отверстие контейнера пластины забирают роботизированные манипуляторы. Они отправляют их в камеры обработки, где добавляются, обрабатываются или смываются различные материалы.
После этого пластины вновь возвращаются в контейнер и едут в нем на следующие этапы обработки в других установках.
Таким образом наносятся и обрабатываются 80 различных слоев. После окончания обработки из одной пластины могут получится 230 центральных процессора или 952 чипа оперативной памяти.
На одном заводе имеется несколько сотен установок каждого вида, которые производят одни и те же операции с пластинами. Таким образом обеспечивается массовое производство: за месяц один завод может обработать 50000 пластин или 11.5 млн процессорных чипов.
Классификация установок обработки
Установки для обработки пластин можно поделить на шесть категорий.
1. Нанесение слоев маски
2. Добавление материала
3. Удаление материала
4. Модификация материала
5. Очистка пластины
6. Проверка пластины
Как выглядят установки и как они распределяются на заводе, можно увидеть на иллюстрациях ниже.
Рассмотрим каждый вид установок подробнее.
Ввиду ограничения фотоматериалов
ПРОДОЛЖЕНИЕ СЛЕДУЕТ.....
Сердце ПК: Кремниевый двигатель. "Предисловие"
Сложно в это поверить, но современный процессор является одним из самых сложных готовых продуктов на Земле – а ведь, казалось бы, чего сложного в этом куске железа?
Уроки химии
Давайте рассмотрим весь процесс более подробно. Содержание кремния в земной коре составляет порядка 25-30% по массе, благодаря чему по распространённости этот элемент занимает второе место после кислорода. Песок, особенно кварцевый, имеет высокий процент содержания кремния в виде диоксида кремния (SiO2) и в начале производственного процесса является базовым компонентом для создания полупроводников.
Первоначально берется SiO2 в виде песка, который в дуговых печах (при температуре около 1800°C) восстанавливают коксом:
SiO2 + 2C = Si + 2CO
Такой кремний носит название «технический» и имеет чистоту 98-99.9%. Для производства процессоров требуется гораздо более чистое сырье, называемое «электронным кремнием» — в таком должно быть не более одного чужеродного атома на миллиард атомов кремния. Для очистки до такого уровня, кремний буквально «рождается заново». Путем хлорирования технического кремния получают тетрахлорид кремния (SiCl4), который в дальнейшем преобразуется в трихлорсилан (SiHCl3):
3SiCl4 + 2H2 + Si ↔ 4SiHCl3
Данные реакции с использованием рецикла образующихся побочных кремнийсодержащих веществ снижают себестоимость и устраняют экологические проблемы:
2SiHCl3 ↔ SiH2Cl2 + SiCl4
2SiH2Cl2 ↔ SiH3Cl + SiHCl3
2SiH3Cl ↔ SiH4 + SiH2Cl2
SiH4 ↔ Si + 2H2
Получившийся в результате водород можно много где использовать, но самое главное то, что был получен «электронный» кремний, чистый-пречистый (99,9999999%). Чуть позже в расплав такого кремния опускается затравка («точка роста»), которая постепенно вытягивается из тигля. В результате образуется так называемая «буля» — монокристалл высотой со взрослого человека. Вес соответствующий — на производстве такая заготовка весит порядка 100 кг.
Слиток шкурят «нулёвкой» :) и режут алмазной пилой. На выходе – пластины (кодовое название «вафля») толщиной около 1 мм и диаметром 300 мм (~12 дюймов; именно такие используются для техпроцесса в 32нм с технологией HKMG, High-K/Metal Gate). Когда-то давно Intel использовала диски диаметром 50мм (2"), а в ближайшем будущем уже планируется переход на пластины с диаметром в 450мм – это оправдано как минимум с точки зрения снижения затрат на производство чипов. К слову об экономии — все эти кристаллы выращиваются вне Intel; для процессорного производства они закупаются в другом месте.
Каждую пластину полируют, делают идеально ровной, доводя ее поверхность до зеркального блеска.
ПРОДОЛЖЕНИЕ СЛЕДУЕТ...
Ответ на пост «Конец эпохи кремния. Процессоры будущего»2
На самом деле важно лишь одно, на мой взгляд. Это когда мы получим на экране нашего пк такую картинку, как в видео или фотосъемке, полную копию внешнего вида в игре. Или, когда мы сможем играть в нашем видео или фото в 3д. Основное это то, к чему все это приведет не только в вычислениях полезных, но и двигателя торговли- продажи массам игры и тд. и тп. . И мы сейчас находимся на уровне развития технологий авто в 1920-ых годах. Когда электромобили или гибриды с 1.5л на 100 км были только в умах или на бумаге. На мой взгляд, прорывные технологии появятся не на бумаге, как они сейчас, годах так в 2060-2070ых, как это было в авто, создание электрокаров. Но электрокары — это реально будущее?))